Основни свойства и приложения на мишени за разпръскване

Целите за разпръскване обикновено се отнасят зацелеви материали използвани в метода на разпръскване с физическо отлагане на пари (PVD). Тези материали обикновено имат следните свойства и приложения:

производителност:

Висока чистота: Целите за разпрашаване трябва да бъдат с висока чистота, за да се гарантира качеството и производителността на отложените филми.

Еднородност: Целевият материал трябва да има добра еднородност, за да се осигури еднородност и стабилност на отложения филм по време на процеса на разпръскване.

Устойчивост на висока температура: Целевият материал трябва да може да издържи на висока температура и енергийно бомбардиране по време на процеса на разпръскване.

Механична якост: За да поддържа стабилна форма, целевият материал трябва да има добра механична якост и стабилност.

приложение:

Отлагане на тънък филм: Мишените за разпрашаване се използват широко в процеси на отлагане на тънък филм, включително отлагане на метали, оксиди, нитриди, карбиди и други материали.

Електронни устройства: Мишените за разпрашаване се използват за подготовка на полупроводникови филми, проводими филми и оптични филми за подготовка на електронни устройства и оптични устройства.

Декоративни покрития: Мишените за разпрашаване се използват и за приготвяне на декоративни и функционални покрития, като антирефлексни покрития, антикорозионни покрития и др.

Слънчеви клетки: Мишените за разпръскване се използват и в производството на слънчеви клетки за подготовка на абсорбиращи светлина слоеве и електродни материали.

Като цяло мишените за разпрашаване имат висока чистота и еднородност и се използват широко в процесите на отлагане на тънък слой и в областта на приготвянето на функционални материали.