លក្ខណៈសម្បត្តិចម្បង និងកម្មវិធីនៃគោលដៅ sputtering

Sputtering គោលដៅជាធម្មតាសំដៅទៅលើសម្ភារៈគោលដៅ ប្រើក្នុងវិធីសាស្រ្តបំភាយចំហាយរាងកាយ (PVD) sputtering ។ សម្ភារៈទាំងនេះជាធម្មតាមានលក្ខណៈសម្បត្តិ និងកម្មវិធីដូចខាងក្រោមៈ
ការសម្តែង៖
ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់៖ គោលដៅនៃការបាញ់ត្រូវមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដើម្បីធានាបាននូវគុណភាព និងដំណើរការនៃខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់។
ឯកសណ្ឋាន៖ សម្ភារៈគោលដៅត្រូវមានឯកសណ្ឋានល្អ ដើម្បីធានាបាននូវឯកសណ្ឋាន និងស្ថេរភាពនៃខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់កំឡុងពេលដំណើរការប្រឡាក់។
ធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់៖ សម្ភារៈគោលដៅត្រូវតែអាចទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងថាមពលនៃការទម្លាក់គ្រាប់បែកកំឡុងពេលដំណើរការផ្លុំ។
កម្លាំងមេកានិច : ដើម្បីរក្សារូបរាងមានស្ថេរភាព សម្ភារៈគោលដៅត្រូវមានកម្លាំងមេកានិចល្អ និងស្ថេរភាព។
កម្មវិធី៖
ការដាក់ស្រទាប់ហ្វីលស្តើង៖ គោលដៅបាញ់ទឹកត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងដំណើរការនៃការដាក់ស្រទាប់ហ្វីលស្តើង រួមទាំងការទម្លាក់លោហធាតុ អុកស៊ីដ នីត្រាត កាបូន និងវត្ថុធាតុផ្សេងៗទៀត។
ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក : គោលដៅ Sputtering ត្រូវបានប្រើដើម្បីរៀបចំខ្សែភាពយន្ត semiconductor ខ្សែភាពយន្ត conductive និងខ្សែភាពយន្តអុបទិកសម្រាប់ការរៀបចំឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក និងឧបករណ៍អុបទិក។
ថ្នាំកូតតុបតែង៖ គោលដៅបាញ់ទឹកក៏ត្រូវបានគេប្រើដើម្បីរៀបចំថ្នាំកូតតុបតែង និងមុខងារផងដែរ ដូចជាថ្នាំកូតប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំង ថ្នាំកូតប្រឆាំងនឹងការ corrosion ជាដើម។
កោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ៖ គោលដៅបាញ់ផ្លុំត្រូវបានប្រើផងដែរក្នុងការផលិតកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យដើម្បីរៀបចំស្រទាប់ស្រូបពន្លឺ និងសម្ភារៈអេឡិចត្រូត។
ជាទូទៅ គោលដៅបាញ់ទឹកមានភាពបរិសុទ្ធ និងឯកសណ្ឋានខ្ពស់ ហើយត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងដំណើរការនៃការដាក់ស្រទាប់ស្តើង និងផ្នែកនៃការរៀបចំសម្ភារៈមុខងារ។










