Pagrindinės purškiamųjų taikinių savybės ir panaudojimas

Purškiantys taikiniai paprastai nurodotikslinės medžiagos naudojamas fizinio garų nusodinimo (PVD) dulkinimo metodu. Šios medžiagos paprastai turi šias savybes ir pritaikymą:

spektaklis:

Didelis grynumas: purškimo taikiniai turi būti labai gryni, kad būtų užtikrinta nusodintų plėvelių kokybė ir veikimas.

Vienodumas: tikslinė medžiaga turi būti gerai vienoda, kad būtų užtikrintas nusodintos plėvelės vienodumas ir stabilumas purškimo proceso metu.

Atsparumas aukštai temperatūrai: tikslinė medžiaga turi atlaikyti aukštą temperatūrą ir energijos bombardavimą purškimo proceso metu.

Mechaninis stiprumas: norint išlaikyti stabilią formą, tikslinė medžiaga turi turėti gerą mechaninį stiprumą ir stabilumą.

taikymas:

Plonosios plėvelės nusodinimas: Purškimo taikiniai plačiai naudojami plonasluoksnių nusodinimo procesuose, įskaitant metalų, oksidų, nitridų, karbidų ir kitų medžiagų nusodinimą.

Elektroniniai prietaisai: Purškiamieji taikiniai naudojami puslaidininkių plėvelių, laidžių plėvelių ir optinių plėvelių paruošimui elektroniniams prietaisams ir optiniams įtaisams paruošti.

Dekoratyvinės dangos: Purškimo taikiniai taip pat naudojami ruošiant dekoratyvines ir funkcines dangas, tokias kaip antirefleksinės dangos, antikorozinės dangos ir kt.

Saulės elementai: Purškimo taikiniai taip pat naudojami saulės elementų gamyboje, kad būtų paruošti šviesą sugeriantys sluoksniai ir elektrodų medžiagos.

Apskritai, purškimo taikiniai yra labai gryni ir vienodi, plačiai naudojami plonų plėvelių nusodinimo procesuose ir funkcinių medžiagų paruošimo srityje.