സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകളുടെ പ്രധാന ഗുണങ്ങളും പ്രയോഗങ്ങളും

സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകൾ സാധാരണയായി പരാമർശിക്കുന്നുലക്ഷ്യം വസ്തുക്കൾ ഫിസിക്കൽ നീരാവി ഡിപ്പോസിഷൻ (പിവിഡി) സ്പട്ടറിംഗ് രീതിയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഈ മെറ്റീരിയലുകൾക്ക് സാധാരണയായി ഇനിപ്പറയുന്ന ഗുണങ്ങളും ആപ്ലിക്കേഷനുകളും ഉണ്ട്:

പ്രകടനം:

ഉയർന്ന ശുദ്ധി: നിക്ഷേപിച്ച ഫിലിമുകളുടെ ഗുണനിലവാരവും പ്രകടനവും ഉറപ്പാക്കാൻ സ്പട്ടറിംഗ് ലക്ഷ്യങ്ങൾ ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ളതായിരിക്കണം.

ഏകീകൃതത: സ്‌പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ നിക്ഷേപിച്ച ഫിലിമിൻ്റെ ഏകീകൃതതയും സ്ഥിരതയും ഉറപ്പാക്കാൻ ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിന് നല്ല ഏകീകൃതത ആവശ്യമാണ്.

ഉയർന്ന ഊഷ്മാവ് പ്രതിരോധം : ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിന് സ്പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ ഉയർന്ന താപനിലയും ഊർജ്ജ ബോംബാക്രമണവും നേരിടാൻ കഴിയണം.

മെക്കാനിക്കൽ ശക്തി: ഒരു സുസ്ഥിരമായ രൂപം നിലനിർത്തുന്നതിന്, ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലിന് നല്ല മെക്കാനിക്കൽ ശക്തിയും സ്ഥിരതയും ഉണ്ടായിരിക്കണം.

അപേക്ഷ:

നേർത്ത ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷൻ: ലോഹങ്ങൾ, ഓക്സൈഡുകൾ, നൈട്രൈഡുകൾ, കാർബൈഡുകൾ, മറ്റ് വസ്തുക്കൾ എന്നിവയുടെ നിക്ഷേപം ഉൾപ്പെടെയുള്ള നേർത്ത ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷൻ പ്രക്രിയകളിൽ സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകൾ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.

ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങൾ: ഇലക്ട്രോണിക് ഉപകരണങ്ങളും ഒപ്റ്റിക്കൽ ഉപകരണങ്ങളും തയ്യാറാക്കുന്നതിനായി അർദ്ധചാലക ഫിലിമുകൾ, ചാലക ഫിലിമുകൾ, ഒപ്റ്റിക്കൽ ഫിലിമുകൾ എന്നിവ തയ്യാറാക്കാൻ സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

അലങ്കാര കോട്ടിംഗുകൾ : ആൻ്റി-റിഫ്ലെക്റ്റീവ് കോട്ടിംഗുകൾ, ആൻ്റി-കോറോൺ കോട്ടിംഗുകൾ മുതലായവ പോലുള്ള അലങ്കാരവും പ്രവർത്തനപരവുമായ കോട്ടിംഗുകൾ തയ്യാറാക്കാനും സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

സോളാർ സെല്ലുകൾ: പ്രകാശം ആഗിരണം ചെയ്യുന്ന പാളികളും ഇലക്ട്രോഡ് വസ്തുക്കളും തയ്യാറാക്കാൻ സോളാർ സെല്ലുകളുടെ നിർമ്മാണത്തിലും സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

പൊതുവേ, സ്‌പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റുകൾക്ക് ഉയർന്ന ശുദ്ധതയും ഏകീകൃതതയും ഉണ്ട്, കൂടാതെ നേർത്ത ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷൻ പ്രക്രിയകളിലും ഫങ്ഷണൽ മെറ്റീരിയലുകൾ തയ്യാറാക്കുന്ന മേഖലയിലും ഇത് വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.