ஸ்பட்டரிங் இலக்குகளின் முக்கிய பண்புகள் மற்றும் பயன்பாடுகள்

Sputtering இலக்குகள் பொதுவாக குறிப்பிடுகின்றனஇலக்கு பொருட்கள் உடல் நீராவி படிவு (PVD) sputtering முறையில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த பொருட்கள் பொதுவாக பின்வரும் பண்புகள் மற்றும் பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளன:

செயல்திறன்:

உயர் தூய்மை: டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படங்களின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்ய ஸ்பட்டரிங் இலக்குகள் அதிக தூய்மையுடன் இருக்க வேண்டும்.

சீரான தன்மை: ஸ்பட்டரிங் செயல்பாட்டின் போது டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படத்தின் சீரான தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதிப்படுத்த இலக்கு பொருள் நல்ல சீரான தன்மையைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.

அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: இலக்கு பொருள் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் ஆற்றல் குண்டுவீச்சு செயல்முறையின் போது தாங்கக்கூடியதாக இருக்க வேண்டும்.

இயந்திர வலிமை : ஒரு நிலையான வடிவத்தை பராமரிக்க, இலக்கு பொருள் நல்ல இயந்திர வலிமை மற்றும் நிலைத்தன்மையைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.

விண்ணப்பம்:

மெல்லிய படப் படிவு: உலோகங்கள், ஆக்சைடுகள், நைட்ரைடுகள், கார்பைடுகள் மற்றும் பிற பொருட்களின் படிவு உள்ளிட்ட மெல்லிய படல படிவு செயல்முறைகளில் ஸ்பட்டரிங் இலக்குகள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

எலக்ட்ரானிக் சாதனங்கள்: எலக்ட்ரானிக் சாதனங்கள் மற்றும் ஆப்டிகல் சாதனங்களைத் தயாரிப்பதற்காக குறைக்கடத்தி படங்கள், கடத்தும் படங்கள் மற்றும் ஆப்டிகல் பிலிம்களைத் தயாரிக்க ஸ்பட்டரிங் இலக்குகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

அலங்கார பூச்சுகள் : எதிர்ப்பு பிரதிபலிப்பு பூச்சுகள், அரிப்பு எதிர்ப்பு பூச்சுகள் போன்ற அலங்கார மற்றும் செயல்பாட்டு பூச்சுகளை தயாரிப்பதற்கும் ஸ்பட்டரிங் இலக்குகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

சூரிய மின்கலங்கள் : ஒளியை உறிஞ்சும் அடுக்குகள் மற்றும் மின்முனைப் பொருட்களைத் தயாரிக்க சூரிய மின்கலங்களின் உற்பத்தியிலும் ஸ்பட்டரிங் இலக்குகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

பொதுவாக, sputtering இலக்குகள் அதிக தூய்மை மற்றும் சீரான தன்மை கொண்டவை மற்றும் மெல்லிய படல படிவு செயல்முறைகள் மற்றும் செயல்பாட்டு பொருட்களை தயாரிக்கும் துறையில் பரவலாக பயன்படுத்தப்படுகின்றன.