Awọn ohun-ini akọkọ ati awọn ohun elo ti awọn ibi-afẹde sputtering
Awọn ibi-afẹde sputtering nigbagbogbo tọka siawọn ohun elo afojusun lo ninu awọn ti ara oru iwadi oro (PVD) sputtering ọna. Awọn ohun elo wọnyi ni igbagbogbo ni awọn ohun-ini ati awọn ohun elo wọnyi:
iṣẹ ṣiṣe:
Iwa mimọ giga: Awọn ibi-afẹde sputtering nilo lati jẹ mimọ ti o ga lati rii daju didara ati iṣẹ ti awọn fiimu ti a fi silẹ.
Iṣọkan : Awọn ohun elo ti o ni afojusun nilo lati ni iṣọkan ti o dara lati rii daju pe iṣọkan ati iduroṣinṣin ti fiimu ti a fi silẹ lakoko ilana itọpa.
Idena otutu otutu: Ohun elo ibi-afẹde nilo lati ni anfani lati koju iwọn otutu giga ati bombu agbara lakoko ilana itọ.
Agbara ẹrọ : Lati le ṣetọju apẹrẹ iduroṣinṣin, ohun elo ibi-afẹde nilo lati ni agbara ẹrọ ti o dara ati iduroṣinṣin.
ohun elo:
Ifilọlẹ fiimu tinrin: Awọn ibi-afẹde sputtering ni lilo pupọ ni awọn ilana ifisilẹ fiimu tinrin, pẹlu ifisilẹ ti awọn irin, oxides, nitrides, carbides ati awọn ohun elo miiran.
Awọn ẹrọ itanna: Awọn ibi-afẹde sputtering ni a lo lati mura awọn fiimu semikondokito, awọn fiimu adaṣe ati awọn fiimu opiti fun igbaradi ti awọn ẹrọ itanna ati awọn ẹrọ opiti.
Awọn ohun ọṣọ ohun ọṣọ: Awọn ibi-afẹde sputtering tun lo lati mura awọn ohun ọṣọ ati awọn ohun elo ti iṣẹ-ṣiṣe, gẹgẹbi awọn ohun-ọṣọ ti o lodi si ifasilẹ, awọn ohun elo ipata, ati bẹbẹ lọ.
Awọn sẹẹli oorun: Awọn ibi-afẹde sputtering tun lo ni iṣelọpọ awọn sẹẹli oorun lati mura awọn fẹlẹfẹlẹ mimu ina ati awọn ohun elo elekiturodu.
Ni gbogbogbo, awọn ibi-afẹde sputtering ni mimọ giga ati isokan ati pe a lo ni lilo pupọ ni awọn ilana ifisilẹ fiimu tinrin ati aaye ti ngbaradi awọn ohun elo iṣẹ ṣiṣe.