Асноўныя ўласцівасці і прымяненне мішэняў для распылення

Распыленне мішэняў звычайна ставіцца дамэтавыя матэрыялы выкарыстоўваецца ў метадзе напылення фізічнага асаджэння з паравай фазы (PVD). Гэтыя матэрыялы звычайна маюць наступныя ўласцівасці і прымяненне:

прадукцыйнасць:

Высокая чысціня: мішэні для напылення павінны быць высокай чысціні, каб забяспечыць якасць і прадукцыйнасць нанесеных плёнак.

Аднастайнасць: мэтавы матэрыял павінен мець добрую аднастайнасць, каб забяспечыць аднастайнасць і стабільнасць нанесенай плёнкі падчас працэсу распылення.

Устойлівасць да высокіх тэмператур: матэрыял мішэні павінен вытрымліваць высокую тэмпературу і энергетычную бамбардзіроўку падчас працэсу напылення.

Механічная трываласць: Каб падтрымліваць стабільную форму, мэтавы матэрыял павінен мець добрую механічную трываласць і стабільнасць.

прымяненне:

Нанясенне тонкіх плёнак: мішэні для напылення шырока выкарыстоўваюцца ў працэсах нанясення тонкіх плёнак, уключаючы нанясенне металаў, аксідаў, нітрыдаў, карбідаў і іншых матэрыялаў.

Электронныя прыборы: мішэні для распылення выкарыстоўваюцца для падрыхтоўкі паўправадніковых плёнак, якія праводзяць плёнак і аптычных плёнак для падрыхтоўкі электронных прылад і аптычных прылад.

Дэкаратыўныя пакрыцця: мішэні для напылення таксама выкарыстоўваюцца для падрыхтоўкі дэкаратыўных і функцыянальных пакрыццяў, такіх як антыблікавае пакрыццё, антыкаразійнае пакрыццё і г.д.

Сонечныя батарэі: распыляльныя мішэні таксама выкарыстоўваюцца ў вытворчасці сонечных батарэй для падрыхтоўкі святлопаглынальных слаёў і электродных матэрыялаў.

У цэлым мішэні для распылення маюць высокую чысціню і аднастайнасць і шырока выкарыстоўваюцца ў працэсах нанясення тонкіх плёнак і ў галіне падрыхтоўкі функцыянальных матэрыялаў.