Шашырату нысаналарының негізгі қасиеттері мен қолданылуы

Шашырату мақсаттары әдетте сілтеме жасайдымақсатты материалдар физикалық буларды тұндыру (PVD) шашырату әдісінде қолданылады. Бұл материалдар әдетте келесі қасиеттерге және қолданбаларға ие:

өнімділік:

Жоғары тазалық : Шөгілген пленкалардың сапасы мен өнімділігін қамтамасыз ету үшін шашырату нысандары жоғары тазалықта болуы керек.

Біркелкілік : Бүрку процесі кезінде тұндырылған пленканың біркелкілігі мен тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін мақсатты материал жақсы біркелкі болуы керек.

Жоғары температураға төзімділік: мақсатты материал бүрку процесі кезінде жоғары температура мен энергия бомбасына төтеп бере алуы керек.

Механикалық беріктік: Тұрақты пішінді сақтау үшін мақсатты материал жақсы механикалық беріктік пен тұрақтылыққа ие болуы керек.

қолдану:

Жұқа қабықша тұндыру : Шашырату мақсаттары металдарды, оксидтерді, нитридтерді, карбидтерді және басқа материалдарды тұндыруды қоса, жұқа қабықшаны тұндыру процестерінде кеңінен қолданылады.

Электрондық құрылғылар: Шашырату нысандары электронды құрылғылар мен оптикалық құрылғыларды дайындау үшін жартылай өткізгіш пленкаларды, өткізгіш пленкаларды және оптикалық пленкаларды дайындау үшін қолданылады.

Сәндік жабындар : Шашырату нысаналары сонымен қатар декоративті және функционалды жабындарды дайындау үшін қолданылады, мысалы, шағылысқан жабындар, коррозияға қарсы жабындар және т.б.

Күн батареялары: шашыратқыш нысандар жарық сіңіретін қабаттар мен электрод материалдарын дайындау үшін күн батареяларын өндіруде де қолданылады.

Тұтастай алғанда, шашыратқыш нысаналар жоғары тазалық пен біркелкілікке ие және жұқа қабықшаларды тұндыру процестерінде және функционалды материалдарды дайындау саласында кеңінен қолданылады.